宗潤福（左）在上海證券交易所“敲鐘”留影。

　　■本報記者 沈春蕾 

　　日前，沈陽芯源微電子設備股份有限公司（以下簡稱沈陽芯源）在上海證券交易所科創板首發上市，成為中國科學院第一家登陸科創板的院所投資企業，也是遼寧省科創板第一股。

　　“如今，市場上最新款的手機芯片，都有我們沈陽芯源生產設備的貢獻，包括前置攝像頭、指紋識別器件等。這些產品背后是技術多年的積淀。”沈陽芯源董事長兼總經理宗潤福在上市儀式上發出這樣的感嘆：“沈陽芯源的上市之路可謂17年磨一劍。”

　　2002年，中國科學院沈陽自動化研究所（以下簡稱沈陽自動化所）發起成立沈陽芯源。此后，沈陽芯源專注于集成電路生產光刻工序的涂膠顯影設備，并成功實現進口設備替代，目前設備銷量超700臺套。

　　那么，沈陽芯源是如何從一家初創企業成長為一家上市公司的？宗潤福又是如何從科研人員變身為創客的？請隨《中國科學報》一起來揭曉答案。

　　“不是偶然，絕非必然” 

　　“成功不是偶然，但也絕非必然。”宗潤福告訴《中國科學報》，“中科院為沈陽芯源從創業到上市提供了大力支持。”

　　1988年，宗潤福從哈爾濱工業大學碩士畢業后來到沈陽自動化所工作，被分配到鞍鋼線材課題組。作為新生力量，宗潤福在沈陽自動化所傳幫帶氛圍的侵染中迅速成長，從助理研究員到研究員再到科技處處長。

　　回憶往事，歷歷在目。“如果沒有于海川老師帶領我們開展鞍鋼線材項目，就不會有后來青島鋼廠項目的成功；受益于李芳臣老師的豁達詼諧，我慢慢會講一些有幽默感的話；如果說蔣新松院士以才以威以遠見服人，那么王天然院士則是以德聚人，對我們年輕后輩栽培呵護，不求全責備。”宗潤福感嘆自己在成長為創客的一路上都有“貴人相助”。

　　在沈陽自動化所，宗潤福和小伙伴們一個接一個地做項目，但隨之發現一些問題：“項目周期長，效率低，把科研人員給套牢了。”

　　當年，時任沈陽自動化所所長的蔣新松多次召開研討會，探討如何加快成果轉化，并提出“一次開發、多次應用”的理念。作為所里的青年科研人員，宗潤福在此基礎上提出要“做乘法”，讓科研人員到企業，將成果做成規范化和標準化的產品，適應不同領域和客戶的需求。

　　隨著沈陽芯源的成立，宗潤福進一步發現，科研人員到企業后的最大轉變是，要由技術專家轉為產品和市場專家。“企業的著眼點不在于技術有多新、多么奇特，而在于技術的可靠和規范。”

　　白手起家，邁向市場 

　　2002年，集成電路（IC）裝備行業大部分由國外企業所壟斷，昂貴的價格給國內企業帶來了巨大的負擔。

　　公司成立之初，宗潤福記得：“當時國內的IC裝備行業沒有基礎，缺少產業供應鏈和客戶，沈陽芯源成為開路先鋒。我們從零開始，白手起家，自己承擔了設計、采購、生產、制造和銷售工作。”

　　時任沈陽自動化所副所長王小剛是沈陽芯源的首任董事長，在艱苦困難的創業初期，他一面承受著研究所內外的巨大壓力，一面內引外聯，推動地方政府、聯合優勢企業共建沈陽IC裝備基地，并為沈陽自動化所和沈陽芯源爭取到了國家重大專項的支持。

　　隨著一項項技術難關的攻克，沈陽芯源在提升整機品質的同時，專注于核心部件的國產化，降低了產品造價與服務成本。2007年，沈陽芯源自主開發的首臺先進封裝領域用12英寸Track產品投入銷售應用，實現了國產IC裝備在晶片尺寸和新工藝上的重大突破。

　　在沈陽自動化所的推動下，2008年，沈陽芯源獲批承擔國家02重大科技專項“凸點封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設備的開發與產業化”項目。2012年，沈陽芯源獲批承擔國家02重大專項“300mm晶圓勻膠顯影設備研發”項目。

　　國家02重大專項即“極大規模集成電路制造技術及成套工藝”項目，因次序排在國家重大專項所列16個重大專項第二位，在行業內被稱為“02專項”。

　　“國家重大科技專項的支持讓公司發展走向正循環。”宗潤福介紹道，通過成果產業化，沈陽芯源自主研制的高端封裝新產品邁向市場。

　　沈陽自動化所所長于海斌曾表示：“當技術成熟到一定程度，市場需求較大，國家又有需求的時候，沈陽自動化所就會把技術變成產品推向市場。”在2000年前后，中科院沈陽自動化所孵化了近十家高新技術企業，包括在創業板上市的新松機器人和在新三板上市的中科博微和新松醫療等。

　　17年堅持，厚積薄發 

　　如今人們看到的是沈陽芯源上市的光環，殊不知這背后是17年的堅持以及在技術市場的厚積薄發。如今的宗潤福已經褪去科研人員的稚嫩與青澀，他認為這歸功于沈陽芯微17年磨一劍，聚焦半導體裝備的研發制造，甘于寂寞、敢于啃硬骨頭。

　　“為什么在創業17年后才選擇科創板上市？”面對記者的提問，宗潤福解釋道，半導體設備行業屬于典型的技術密集型行業，行業技術門檻高，需要不斷保持較高的研發投入水平，才能保證自身產品的技術優勢或縮小與國際領先水平的差距。

　　基于多年的積累與沉淀，以及在沈陽自動化所的支持下，沈陽芯源的上市之路走得非常順利。

　　據宗潤福介紹，沈陽芯源自2019年7月12日向上海證券交易所提交申報稿獲受理之后，歷經兩輪問詢，10月21日通過審議。“從2019年10月28日，我們向中國證監會提交注冊申請，到11月15日IPO注冊生效，沈陽芯源僅用百余天的時間就完成了從申報到注冊的所有流程。”

　　半導體設備行業對于專業人才尤其是研發人員的依賴程度較高，宗潤福很早就意識到，核心技術人員是公司生存和發展的重要基石。為此，沈陽芯源在培養本土人才團隊的同時，還走出去、請進來，引進行業高端人才。“當前，我們有來自美國、日本、韓國的全職專家和技術顧問近10人。”

　　集成電路是國家支柱性戰略性產業，未來涂膠顯影機和單片清洗機還將有巨大的市場空間。宗潤福表示：“上市是沈陽芯源邁出的一大步，也是新的開始。”